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1  主軸系統(tǒng)位于設備的下方，由電機通過窄 V 帶拖動，采用最短的傳動 鏈保證了其運轉精度,  下盤采用高精度軸承定位支撐，運轉剛度和精度都得 到了良好的保障，下盤軸下部裝有旋轉接頭，用于下盤內通冷卻水，下盤冷卻 水流量可通過電動閥比例調節(jié).

2  PP 拋光頭位于設備的上部，PP 頭的升降及加壓由氣缸實現(xiàn)，四個 PP 頭的升降及加壓均單獨控制；PP 頭可主動旋轉，單獨控制；PP 頭具備真空吸 附功能，可將陶瓷盤快速提起。

3 在設備的上部箱體正面設有主操作面板，可進行參數(shù)設定，運行監(jiān)控等 功能，在上箱體的兩個側面分別設有小操縱板用于四個 PP 頭的升降操作；

4 拋光液、冷卻水、清洗水及氣路等從設備的后部引入；

5 在下盤的外側設有可滑動的防護罩，可防止工作液的飛濺，減少有害 氣體的溢出；

6 設備具有水液分離機構，可實現(xiàn)拋光液及水的自由切換；

7 在下拋盤中間設有可升降的一個中間導輪裝置，在接液盆邊緣部位設有 四個外導輪裝 置，二者配合可實現(xiàn)工件盤的自動定位；

8 在橫梁上裝有紅外測溫裝置，用于下盤盤面溫度的監(jiān)測；

9 拋光液流經或可能會接觸到的地方均采用不銹鋼材料或耐腐蝕非金屬材 料制作或進行 特殊的防腐處理，液桶采用透明 PVC 或不銹鋼制作 (按客 戶需求定) ，拋光液管路采用潔凈 PVC 制作，滿足強酸強堿強氧化劑的 使用環(huán)境。

10 具有自動沖水裝置，PP 頭將陶瓷盤提起后，可自動對工件或 PP 頭進

行噴水沖洗 (選 配)；

11 界面密碼分級管理，可根據(jù)不同權限設置；

12 歷史數(shù)據(jù) (溫度、壓力、轉速、時間等) 可導出。